PS-7半導(dǎo)體材料氣體檢測(cè)部  氣體檢測(cè)儀

• 特點(diǎn)

  帶有氣體采樣流量自動(dòng)控制功能

  LCD顯示，現(xiàn)場(chǎng)狀態(tài)一目了然

  實(shí)現(xiàn)小型、輕量化

  可簡(jiǎn)單地更換傳感器和采樣氣路

  帶有防止傳感器單元錯(cuò)誤插入的功能

  可以設(shè)定多樣的維護(hù)模式

  組合對(duì)應(yīng)熱分解單元與定電位電解式傳感器，能檢測(cè)NF3等

  實(shí)現(xiàn)了用PDA讀取數(shù)據(jù)

  符合CE規(guī)格，SEMI規(guī)格

  
  規(guī)格

  型號(hào)	PS-7
  標(biāo)準(zhǔn)型	附帶轉(zhuǎn)換器組件型
  檢測(cè)原理	?定電位電解式、熱絲型半導(dǎo)體式、隔膜電流電池式 ?熱分解+定電位電解式
  采樣方式	泵吸引式（0.5L/min吸引流量 自動(dòng)控制）
  采樣配管	特氟隆外徑6內(nèi)徑4mm、配管距離在20m以內(nèi)
  氣體濃度顯示	液晶數(shù)字四位顯示（附帶單位）20分割條形圖

  報(bào)警接點(diǎn)	?氣體報(bào)警（1段以及二級(jí)） 報(bào)警、紅色液晶指示燈閃爍、液晶畫面 第1段 ALARM1 第1段 ALARM1 ALARM2顯示 ?流量降低報(bào)警 堵塞指示顯示：流量顯示為低速運(yùn)轉(zhuǎn) 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 FLOW顯示以及流量顯示為停止運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài) ?傳感器故障報(bào)警/傳感器誤插入報(bào)警 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 SENS.顯示 ?熱分解爐斷線報(bào)警 報(bào)警：黃色LED指示燈閃爍 ：液晶畫面 CONV.顯示
  外部輸出	氣體濃度模擬輸出 DC4~20mA（與電源的負(fù)極通用） 氣體報(bào)警接點(diǎn)（1段以及兩極） 1a無電壓接點(diǎn)/自動(dòng)復(fù)位 故障報(bào)警接點(diǎn) （開路集電極/自動(dòng)復(fù)位）
  適合電纜線	控制用屏幕電纜線（Φ8~11mm）x2 3芯或者4芯 使用溫度濕度范圍 0℃~40℃（但是不能有劇烈的溫度變化）、30~85%RH（但不能結(jié)露）
  使用電源	DC24V±10%
  消耗電力	約7w
  尺寸	?W62xH124xD143mm(除去突起物) ?W62xH124xD143mm(除去選購件和突起物)
  重量	約1.0kg
  安裝方法	壁掛式

   E3XZD41  E3XZD6  E3XZD8  E3XZD21  E3XZD51  DS1052E  E3XZD7  DS1000E  E3XZD9  DPO3000  DPO4000  DPO4032  DPO4034  DPO4054  F190  F120  3290   3284  329350  3283  FT6380  353250  3535  IM3533  3506  3505  3504  3541   3540  3197  FLUKE43B  F1750   E3CLDA0  CLDA0  3334   3333   319310  ZSLDC  3169  ZSHLDC  ZFVCA  E3XDRT21